蔡司图木舒克扫描电子显微镜sigma系列简明操作指南

　　一、 开机说明

　　冷启动步骤

　　1、启动UPS

　　打开墙上空气开关，确认UPS后面电池开关打开，按前面面板上On键至两个绿灯亮。

　　2、启动循环水冷机。

　　按On键，确认水泵1和制冷指示灯亮。

　　检查出水口压力在2~3bar。出水口压力可由压力表下方阀门调节。

　　若有报警，检查水位，按Res键。

　　3、启动空气压缩机。.

　　确认空气压缩机上启动阀门上开关为“1”状态。检查输出气压为5~ 6bar.

　　4、确认主机后两个电源开关状态为On.

　　此时，主机前面板上红灯亮。

　　5、按下黄键。.

　　说明:前级真空泵进入工作状态，分子泵、潘宁计和离子泵自动顺序启动。

　　6、按下绿键。

　　按下绿键后，电脑会自动启动，输入计算机密码: .

　　7、启动SmartSEM软件。

　　用户名: system

　　密码:

　　8、检查真空值，等待真空就绪。

　　△注意:当System Vacuum<2X 10'mBar时，会自动打开CIV阀门(column isolation valve),并启动离子泵。

　　当Gun Vacuum=<5 X 10^mBar时，可启动灯丝。若长期停机，需做烘烤。

　　9、开启灯丝。

　　10、开Tv,检查样品台。

　　11、装样品(见第二部分)。

　　12、加高压(EHT)。

　　13、观察样品。

　　待机状态

　　1、关闭高压(EHT)。 .

　　2、关闭SmartSEM软件。

　　注意:分两步，先关用户界面User Interface,后关后台程序EM Server.

　　3、关Windows。

　　4、必要时，关能谱、EBSD.

　　5、按下黄键

　　此时，电子光学系统、样品台及检测系统电源关闭。电镜真空系统和灯丝继续工作。

　　待机状态启动

　　1、按下绿键。

　　按下绿键后，电脑会自动启动，输入计算机密码:

　　2、启动SmartSEM软件。

　　用户名: system

　　密码:

　　3、检查真空值。

　　4、换样或加高压观察样品。

　　关机步骤

　　1、关高压(EHT)和灯丝。

　　2、关SmartSEM软件。

　　注意:分两步，先关用户界面User Interface，后关后台程序EM Server.

　　3、关Windows.

　　4、关能谱、EBSD.

　　5、按下黄键，等待~10秒钟。

　　等待电子光学系统、样品台及检测系统电源关闭。

　　6、按下红键。

　　7、关循环水冷机。

　　8、必要时，关氮气总阀门。

　　9、必要时，关UPS.

　　10、必要时，关墙上空气开关。

　　烘烤步骤

　　1、确认高压(EHT)和灯 丝关闭。

　　2、拨出高压电线.

　　先松开四颗螺丝，拔出高压头。

　　3、打开监控软件Gun Monitor.

　　设置监控Gun Vacuum和System Vacuum参数，时间间隔1s。

　　4、开始烘烤

　　菜单栏Tools→go to panel→bakeout,打开Bakeout界面，设定加热时间8~20h，冷却时间设为2h，开始。

　　5、烘烤完成

　　结束后检查枪真空值，-般小于1X 10°mBar.关闭Gun Monitor。插入高压头，锁紧。